WF6 په عمده توګه د الکترونیکي صنعت کې د فلزي ټنګسټن د کیمیاوي بخار زیرمه کولو (CVD) پروسې لپاره د خامو موادو په توګه کارول کیږي. د WF6 څخه جوړ شوی WSi2 د لوی پیمانه مدغم سرکټونو (LSI) کې د تارونو موادو په توګه کارول کیدی شي، او همدارنګه د سیمیکمډکټر الکترودونو، د کیمیاوي اجنټانو لپاره د فلورین خامو موادو، د پولیمرائزیشن کتلستونو، نظري موادو او نورو لپاره د خامو موادو په توګه کارول کیدی شي.